您的位置首页  生肖运势

加速度传感器灵敏度提高百倍以上

  • 来源:互联网
  • |
  • 2019-07-31
  • |
  • 0 条评论
  • |
  • |
  • T小字 T大字

  东京工业大学校长益一哉等人与NTT尖端技术公司利用包含多个金属层的积层金属结构,成功开发出具有超低噪声和超高灵敏度的MEMS(微机电系统)加速度传感器,实现了1微(μ)G级(G=9.8m/s2,重力加速度)的高分辨率检测。

  这一创新技术提高了超小型加速度传感器的分辨率,并实现其通用化,可用于医疗保健、基础设施诊断、移动体控制、机器人应用等各种运动检测中,有助开发新的器件和系统。

  该研究小组此前提出过利用金材料将MEMS加速度传感器的砝码体积削减至十分之一以下的方法。此次以该方法为基础,通过重叠多层金层形成MEMS结构,增加了单位面积的砝码重量,与以往相同尺寸的传感器相比,灵敏度提高百倍以上,噪声降至十分之一以下。

  相关研究近日发表于国际学术论文期刊《传感器与材料》网络版。

  (来源:日本科学技术振兴机构)

免责声明:本站所有信息均搜集自互联网,并不代表本站观点,本站不对其真实合法性负责。如有信息侵犯了您的权益,请告知,本站将立刻处理。联系QQ:1640731186
友荐云推荐